下载一种集成电路芯片制造设备的技术资料

文档序号:26423014

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本发明公开了一种集成电路芯片制造设备,属于集成电路芯片制造技术领域,包括设备主体,所述设备主体的底部设置有支撑板,所述支撑板顶部的两侧皆设置有支撑杆,所述支撑杆的外侧套设有活动框,两组所述支撑杆的侧面皆安装有电磁滑轨,所述活动框顶部的中间位...
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