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本申请提供了一种信息交互方法和装置，其中，通讯接口接收控制系统发送的待发送信息，将待发送信息转换为第一格式，并将转换后的待发送信息发送至半导体设备，其中，待发送信息由控制系统利用预设信息交互规则发送，通讯接口外置于控制系统；和/或，接收半导...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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