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本发明公开一种光刻用照光装置及自动调整其照度的方法，所述装置包含：用于发出光线的一光投射单元、用于驱动所述光投射单元的一驱动单元、用于反射所述光线的一反射镜、用于感测所述反射镜上一光强度的一光感测器及用于根据所述光强度控制所述驱动装置移动所...
该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。

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