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基于大气压冷等离子体微加工的人工仿生复眼制备方法技术
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下载基于大气压冷等离子体微加工的人工仿生复眼制备方法的技术资料
文档序号:26416441
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本发明提供一种基于大气压冷等离子体微加工的人工仿生复眼制备方法,包括:在衬底上旋涂一层光刻胶;对光刻胶采用大气压冷等离子体射流刻蚀,经刻蚀后在光刻胶的上面得到平面凹陷阵列结构;在刻蚀后得到平面凹陷阵列结构上表面制备脱模隔离层;在隔离层上旋涂...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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