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本发明涉及一种真空镀膜装置，包括真空腔室以及固定于真空腔室的导电机构、多个滚轮机构，真空腔室内具有输送方向，其中：多个滚轮机构沿输送方向阵列分布，每一滚轮机构包括第一驱动单元及滚轮，第一驱动单元具有穿过真空腔室的侧壁的第一输出轴，滚轮安装于...
该专利属于苏州迈正科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈正科技有限公司授权不得商用。

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