下载一种覆铜板及其高速真空制备方法的技术资料

文档序号:26409079

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本发明公开一种覆铜板及其高速真空制备方法。本发明采用持续高功率磁控溅射技术在基底上制备铜膜;其中,所述持续高功率磁控溅射技术的靶面功率密度>80W/cm...
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