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本发明公开一种氮化铝掺氮化钪镀膜材料，具体地说，氮化铝掺氮化钪镀膜材料包括氮化铝掺氮化钪靶材和氮化铝掺氮化钪蒸发镀膜材料，其化学表达式为：(ScN)...
该专利属于江西科泰新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西科泰新材料有限公司授权不得商用。

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