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本实用新型属于半导体衬底技术领域，提供了一种半导体显示衬底的化学清洗设备，包括清洗槽、清洗治具和驱动机构，清洗治具用于放置半导体显示衬底，包括安装框架和多个放置结构，驱动机构用于驱动清洗治具作上下往复直线运动。本实用新型所提供的半导体显示衬...
该专利属于重庆芯洁科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆芯洁科技有限公司授权不得商用。

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