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本发明涉及二氧化硅制备领域，具体涉及纳米球形二氧化硅的制备方法及其装置。制备方法包括：1)形成球形二氧化硅湿凝胶；2)将湿凝胶进行表面改性；3)将表面改性后的湿凝胶干燥得到干凝胶；4)将干凝胶进行恒温煅烧，筛分，得到纳米球形二氧化硅。制备装...
该专利属于浙江华飞电子基材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江华飞电子基材有限公司授权不得商用。

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