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本发明涉及一种钕铝靶材溅射面的抛光工艺，所述抛光工艺包括依次进行的第一机械抛光、第二机械抛光、第三机械抛光和第四机械抛光；所述第一机械抛光中所用的砂带为320#白刚玉砂带；所述第二机械抛光中所用的砂带为400#白刚玉砂带；所述第三机械抛光中...
该专利属于合肥江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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