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本实用新型半导体测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，真空腔体设置电信接口、冷源接口、抽气接口和三维移动机构接口，并且真空腔体内设置载物台，载物...
该专利属于深圳市森东宝科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市森东宝科技有限公司授权不得商用。

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