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本实用新型公开了一种梁岛膜压阻式压力传感器,包括金属引线和硅基底,所述金属引线的下方安装有压敏电阻,所述第一二氧化硅层的下方设置有单晶硅层,所述硅基底位于第二二氧化硅层的下方,所述玻璃衬底与硅基底之间设置有真空腔,且真空腔的内部设置有岛,所...该专利属于明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司授权不得商用。