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一种高占空比的热电堆红外探测器芯片制造技术
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下载一种高占空比的热电堆红外探测器芯片的技术资料
文档序号:26389998
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本实用新型公开了一种高占空比的热电堆红外探测器芯片,涉及红外传感器技术领域,包括基底以及依次设置在基底上的热电堆层、红外吸收层第一电极和第二电极,热电堆层包括周期排布的若干个热偶单元,每个热偶单元包括第一热偶对和两个第二热偶对,并且第一热偶...
该专利属于无锡微视传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡微视传感科技有限公司授权不得商用。
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