下载一种基于热电堆的无线温度传感器的技术资料

文档序号:26389995

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本实用新型涉及一种基于热电堆的无线温度传感器,其特征在于包括基体,所述基体的上下表面分别设置有上层氮化硅和下层氮化硅,所述上层氮化硅的设置有四排多晶硅条组,四排多晶硅条组形成口字形结构,每排多晶硅条组包括并排布置的多根多晶硅条,所述上层氮化...
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