下载用于使非平面物体曝光的方法、光学部件和曝光系统的技术资料

文档序号:26388337

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本发明涉及用于使非平面物体(14)曝光的方法,其中光学部件(41)布置在待曝光的非平面物体(14)上,其中光学部件的轮廓(43,45)以这种方式形成,使得在单个曝光操作期间在用于使非平面物体(14)曝光的处理头(16)或曝光源(20)的光输...
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