下载一种用于将中性粒子剥离成带电粒子的气体剥离装置的技术资料

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本发明公开了一种用于将中性粒子剥离成带电粒子的气体剥离装置,包括真空室,真空室两端分别设有粒子束入口法兰和粒子束出口法兰,真空室顶部设有与真空室连通的进气法兰,所述真空室设有剥离室,剥离室两端分别密闭接有差分管道,剥离室顶部通过管道连接到进...
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