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本申请公开了一种基于半导体衬底的高效SPP耦合器及制作方法，其耦合器通过电流可以直接激发耦合器结构正负极加电压，使有源区发光，发光激发结构表面的非对称金属光栅结构，从而产生单向传输的SPP，SPP经由结构传输后由发射槽散射出光，使得该耦合器...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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