下载半导体器件的加速老化的检测系统和方法的技术资料

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一种检测半导体器件的方法,包括在一段时间给半导体器件通以预定电平的电流脉冲之步骤,以使不合格部分老化,使合格部分稳定,及在加电流脉冲后,测量半导体器件的预定电或光工作特性之步骤。提供一种检测片子上半导体器件的系统,具有一个接触探头,用于把电...
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