下载微显示器件的制造方法的技术资料

文档序号:26382320

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本发明涉及一种微显示器件的制造方法,通过在外延片衬底和芯片衬底上进行一定深度的刻蚀,将刻蚀沟壑中填充一定具有弹性的弹性胶体,使衬底变为可拉伸衬底,从而解决两个不同衬底材料高温键合中出现的热应力和热膨胀量不同的问题。...
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