温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种电容器件及其形成方法,其中方法包括:提供基底,所述基底包括相邻的第一区和第二区;在所述基底第一区表面和第二区表面形成第一导电层;在所述第一导电层表面形成电介质层;在所述电介质层表面形成第二导电膜;去除第一区上的第二导电膜并暴露出第一区上...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。