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阵列基板的制造方法技术
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文档序号:26382117
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本申请揭露一种阵列基板的制造方法。制造方法包括:在一基材上形成图案化的一第一金属层,其中图案化的第一金属层包括至少一闸极线与至少一闸极,闸极线与闸极连接;于第一金属层上依序形成一闸极介电层与一半导体层;清洗半导体层;在半导体层上形成一第二金...
该专利属于惠科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠科股份有限公司授权不得商用。
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