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本发明提供一种硅片贴合气泡数量的评估方法以及图像传感器结构的制备方法,硅片贴合气泡数量的评估方法包括基于待评估硅片上预设长度内硅片厚度变化均匀性来评估待评估硅片上产生的气泡数量。通过上述方案,本发明在硅片贴合之前对硅片的贴合气泡数量进行预估...该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种硅片贴合气泡数量的评估方法以及图像传感器结构的制备方法,硅片贴合气泡数量的评估方法包括基于待评估硅片上预设长度内硅片厚度变化均匀性来评估待评估硅片上产生的气泡数量。通过上述方案,本发明在硅片贴合之前对硅片的贴合气泡数量进行预估...