下载在基板上蚀刻镍的方法及半导体基板的技术资料

文档序号:26381992

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本发明公开一种在基板上蚀刻镍的方法及半导体基板。具体的实施方式可包括:提供介电层;将铜层与介电层的第一侧耦接;用镍层镀覆铜层的第一侧;在镍层上形成图案化层;以及使用蚀刻剂对镍层进行喷蚀。方法可包括:将蚀刻剂在介电层上保持预定时间段;以及在保...
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