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本申请案涉及一种用于平面化端点确定的方法、系统及设备。可通过抵靠移动结构而移动平面化垫来对所述移动结构执行一种平面化工艺。可将液体及气体注入到集成在移动垫中的流动池中以在所述流动池中产生两相液体‑气体流，同时所述移动结构的表面接触所述两相液...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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