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本发明公开一种原位原子层沉积扫描电子显微镜，涉及原位测试领域，包括机架，所述机架上设置有电镜腔室，所述电镜腔室一侧设置有开口，所述电镜腔室一侧的开口端固定连接有密封阀，所述密封阀远离所述电镜腔室的一侧固定安装有原子层沉积室，所述原子层沉积室...
该专利属于浙江祺跃科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江祺跃科技有限公司授权不得商用。

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