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本实用新型公开一种高节能纳米真空蒸发源，包括真空法兰，真空法兰上方通过支撑件固定有热屏蔽组件，热屏蔽组件内内置有加热组件，热屏蔽组件远离真空法兰一端设置有上端开口的圆柱形的放置腔，放置腔内可拆卸设置有一坩埚。坩埚包括自上而下依次连接的出气段...
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