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本申请涉及一种高精度的四氯化锗鼓泡装置，包括特气分配柜、蒸发设备控制组件、蒸发罐、喷灯、通风排气组件，以及向所述蒸发罐通入四氯化锗原料的第一管道和第二管道、向所述蒸发罐通入氩气的第三管道、由所述蒸发罐蒸发出蒸发气体的第四管道、连通所述第三管...
该专利属于江苏通鼎光棒有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏通鼎光棒有限公司授权不得商用。

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