下载组合式半导体可靠性测试系统的技术资料

文档序号:2637610

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用于测试多个DUTs(待测试器件)的半导体可靠性测试系统,其特征在于包括:一般为平面结构的插接板,板有第一表面,插接板有多个用于可拆卸地安置DUTs的备用位置,DUTs从表面向外延伸到边界,那些备用位置处于插接板表面的一个区域之内;和具有内...
该专利属于埃楚姆公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃楚姆公司授权不得商用。

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