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一种基于二硒化钯/超薄硅/二硒化钯肖特基结的颜色探测系统及其制备方法技术方案
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文档序号:26371890
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本发明公开了一种基于二硒化钯/超薄硅/二硒化钯肖特基结的颜色探测系统及其制备方法,是在玻璃衬底的上、下表面对称设置有由两二硒化钯薄膜与n‑型超薄硅片构成金属半导体金属肖特基结的一对颜色探测单元。本发明的颜色探测系统可探测的波长范围包括460...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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