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一种用于使用电子显微镜（ＳＥＭ）通过电测试信号在集成电路样品上探测的方法和系统，其中设置电子显微镜用于观察样品（５０）上暴露导电端子的表面。设置托盘为扫描电子显微镜（１０）支撑样品（５０），同时，计算机从扫描电子显微镜（１２）获得确定样品（...
该专利属于微操作控制器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过微操作控制器股份有限公司授权不得商用。

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