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一种测试半导体器件的半导体测试系统，特别是一种具有多个不同类型测试器模块的半导体测试系统，用于高速和高效率地测试具有模拟信号和数字信号的混合信号集成电路。本发明的半导体测试系统包括两个或多个性能不同的测试器模块；一个容纳两个或多个性能不同的...
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