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本发明公开了一种半导体级直拉单晶硅炉超高纯石墨热场，包括底座，所述底座顶部两侧的两端对称设置有四组伸缩杆，四组所述伸缩杆的顶部共同设置有安装板，四组所述伸缩杆的外侧皆设置有弹簧B，且弹簧B与安装板相互连接，所述底座顶部的中间位置处设置有弹簧...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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