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本发明提供了一种用于蒸镀的烧结体及其制备方法。该烧结体，由氧化铟、掺杂元素x和硅元素制备得到，其中掺杂元素x的含量以x的氧化物/(氧化铟+x的氧化物)的重量比为0.2～5.0％，硅元素在所述烧结体中的含量为5～600ppm，硅元素为纳米氧化...
该专利属于长沙壹纳光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙壹纳光电材料有限公司授权不得商用。

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