下载一种酸性含铜刻蚀液处理方法及系统的技术资料

文档序号:26362244

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本发明提供了一种酸性含铜刻蚀液处理方法,包括以下步骤:(1)将酸性含铜刻蚀液调节pH为0.08~0.12,加入氧化剂氧化酸性含铜刻蚀液中的铜为二价铜离子,得到混合体系A;(2)向所述混合体系A中加入碱调节混合体系A的pH为7.5~8将混合体...
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