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一种微尘清洁装置制造方法及图纸
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下载一种微尘清洁装置的技术资料
文档序号:26362001
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本申请公开了一种微尘清洁装置,可以应用于半导体集成电路封装领域,用于清洁待封装的半导体器件,由于半导体器件在生产的过程中易受到外部微尘的污染,在封装后无法清除,微尘会影响半导体器件的产品质量,本申请通过设置吹风组件,吹风组件包括调节装置和设...
该专利属于合肥通富微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥通富微电子有限公司授权不得商用。
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