下载用于半导体显示衬底的超声波清洗设备的技术资料

文档序号:26361973

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本实用新型属于半导体显示衬底清洗设备技术领域,提供了一种用于半导体显示衬底的超声波清洗设备,包括清洗槽、超声波发生装置、清洗治具和驱动机构,超声波发生装置设置在清洗槽内,清洗治具用于放置半导体显示衬底,包括安装框架、两个支撑板和锁定结构,两...
该专利属于重庆芯洁科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆芯洁科技有限公司授权不得商用。

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