温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明关于一种探针接触电阻的测试结构与方法。该探针接触电阻检测结构包括第一焊垫、第二焊垫、第三焊垫、第一金属导线,连接于该第一焊垫与该第二焊垫间,与第二金属导线,连接于该第二焊垫与该第三焊垫间。该探针接触电阻检测方法包括步骤:测量该第一焊垫...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明关于一种探针接触电阻的测试结构与方法。该探针接触电阻检测结构包括第一焊垫、第二焊垫、第三焊垫、第一金属导线,连接于该第一焊垫与该第二焊垫间,与第二金属导线,连接于该第二焊垫与该第三焊垫间。该探针接触电阻检测方法包括步骤:测量该第一焊垫...