下载双Z轴机构的技术资料

文档序号:26357812

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本发明提供一种双Z轴机构,包括外Z轴机构和内Z轴机构;所述外Z轴机构包括外筒体,且所述外筒体上安装有驱动所述外筒体沿Z轴方向与安装板发生相对运动的外Z轴驱动机构,所述安装板与外接结构连接;所述内Z轴机构包括安装在所述外筒体内的内筒体,且所述...
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