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提供能够高精度地检测针对被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置以及异常检测方法。具备：AE传感器(61)，其设置于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的抛光平台(20)，并经由介于AE传感器(61)与玻璃板(G)之间的浆液(S)来检测来自玻...
该专利属于AGC株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过AGC株式会社授权不得商用。

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