异常检测装置以及异常检测方法制造方法及图纸

提供能够高精度地检测针对被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置以及异常检测方法。具备：AE传感器(61)，其设置于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的抛光平台(20)，并经由介于AE传感器(61)与玻璃板(G)之间的浆液(S)来检测来自玻璃板(G)的弹性波；和异常检测部(17)，其基于来自AE传感器(61)的检测信号，来判定玻璃板(G)的异常的有无，AE传感器(61)配置在抛光平台(20)中的玻璃板(G)的载置位置的正下方。

【技术实现步骤摘要】
异常检测装置以及异常检测方法
本专利技术涉及异常检测装置以及异常检测方法。
技术介绍
例如，在针对用于LCD(LiquidCrystalDisplay：液晶显示器)、OLED(OrganicLight-EmittingDiode：有机发光二极管)等平板显示器(FPD:FlatPanelDisplay)的玻璃板的各种加工中，很少会在玻璃板产生裂缝等损伤。因此，作为对玻璃板进行抛光的抛光装置，已知一种具备快速检测玻璃板的裂缝的玻璃裂缝检测装置的抛光装置(例如，参照专利文献1)。该玻璃裂缝检测装置具备：向玻璃板供给液体的液体供给部；配置在与液体接触的位置的AE传感器；以及对从检测到来自玻璃板的弹性波的AE传感器输入的AE信号进行处理的信号处理部。然后，在该玻璃裂缝检测装置中，信号处理部通过来自AE传感器的AE信号超过规定的阈值，从而判断玻璃板的裂缝。另外，也已知一种通过来自安装于构成抛光装置的抛光垫的铝制的板材的AE传感器的检测信号，来判断玻璃板的裂缝的技术(例如，参照专利文献2)。专利文献1：日本特开2017-190971号公报...

【技术保护点】
1.一种异常检测装置，其特征在于，具备：/nAE传感器，其设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，并经由介于与所述被加工物之间的液体来检测来自所述被加工物的弹性波；和/n异常检测部，其基于来自所述AE传感器的检测信号，来判定所述被加工物有无异常，/n所述AE传感器配置在所述加工台中的所述被加工物的载置位置的正下方。/n

【技术特征摘要】
20190517 JP 2019-0938641.一种异常检测装置，其特征在于，具备：
AE传感器，其设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，并经由介于与所述被加工物之间的液体来检测来自所述被加工物的弹性波；和
异常检测部，其基于来自所述AE传感器的检测信号，来判定所述被加工物有无异常，
所述AE传感器配置在所述加工台中的所述被加工物的载置位置的正下方。


2.根据权利要求1所述的异常检测装置，其特征在于，
所述AE传感器检测来自由玻璃板构成的所述被加工物的弹性波。


3.根据权利要求2所述的异常检测装置，其特征在于，
在所述加工台的上表面设置有抛光板，所述玻璃板被按压于所述抛光板并相对移动，由此对所述玻璃板进行抛光，
在所述抛光板具有与所述AE传感器和所述玻璃板连通的浆液流入孔，
所述AE传感器经由向所述抛光板与所述玻璃板之间供给并流入到所述浆液流入孔的浆液来检测来自所述玻璃板的弹性波。


4.根据权利要求3所述的异常检测装置，其特征在于，
所述抛光板由在面方向被分割的多个分割板构成，
所述AE传感器配...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋山秀，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP