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本发明提供用非接触的简单的结构，可准确地检测出基板位置偏差的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。通过向基板表面配设的导电图形供电的供电部（３），向基板（２０）表面的导电图形（２５）提供交流信号，让基板（２０）沿箭头Ａ方向移动，从基板...
该专利属于OHT株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过OHT株式会社授权不得商用。

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