基板位置偏差检测装置及基板位置偏差检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供用非接触的简单的结构，可准确地检测出基板位置偏差的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。通过向基板表面配设的导电图形供电的供电部（３），向基板（２０）表面的导电图形（２５）提供交流信号，让基板（２０）沿箭头Ａ方向移动，从基板位置偏差传感器（１）、（２）的交流信号的检测信号的输出电平正好在中间电平时的时间差和基板输送速度，检测出基板的位置偏差程度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及可检测与表面配设有导电图形的基板的输送方向大致垂直的方向上的位置偏差的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。
技术介绍
现在，作为确定表面配设有导电图形的基板的误差的方法有作用于基板端部的光学检测方法或作用于基板端部的机械检测方法等。或者，如特开平10-311861所述，在基板上配设有图形的情况下，采用在导电图形的两侧配置传感器，根据传感器检测信号的差分，检测出位置偏差的方法。但是，在光学检测方法中，由于发光装置有问题或周围气氛的状态，会使检测水平发生变化。因此，几乎不可能进行高精度检测。在机械检测中也存在着同样的问题。另外，特开平10-311861的方法，是将基板位于对配线图形进行通路检查的通路检查装置的位置上并固定，然后，必须在X和Y相互垂直的方向上，置备4个间隔为导电图形线宽一半左右的一对传感器。而且，还必须置备微细且高精度的间隔为导电图形线宽一半左右的一对传感器，只用于特殊用途。因此，希望开发可设置在输送带上所希望的位置上、结构简单且具有不随时间变化的高精度的基板位置偏差检测装置。
技术实现思路
本专利技术目的是为了解决上述问题，提供可设置在输送带上所希望的位置上、结构简单且具有不随时间变化的高精度的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。作为达到上述目的装置之一，例如具有以下结构。其特征在于，即是检测与表面配设有导电图形的基板的输送方向大致垂直的方向上的位置偏差的基板位置偏差检测装置。该装置具有下述装置与前述配设在基板表面的导电图形的输送方向的前方端部距有一定距离、在至少有2处的预定位置、与基板表面配设的导电图形以非接触方式进行电容耦合的图形端部检测装置、从前述导电图形的其他部位，向前述输送方向的前方端部提供交流信号的信号提供装置、通过各前述图形端部检测装置，检测出前述信号提供装置提供的交流信号的检测时间偏差，从而检测出被输送的检查基板的位置偏差的位置偏差检测装置，前述信号提供装置，在前述检查基板至少是前述输送方向前方端部到达前述图形端部检测装置的位置时，提供前述交流信号，前述位置偏差检测装置是将检测信号的相差比例作为前述检查基板的倾斜比例。另外例如，其特征在于，前述位置偏差检测装置，是将各前述图形端部检测装置检测的最小检测电平和最大检测电平之间的中间电平信号检测时的前述检测基板的位置，作为前述输送方向前方端部的前述位置偏差检测装置到达位置，从前述各位置偏差检测装置的检测信号的差，检测出相对于前述各位置偏差检测装置配设位置的倾斜程度和相对于输送方向的位置偏差。另外例如，其特征在于，前述信号提供装置，是利用在前述导电图形的其他部位以非接触方式进行电容耦合的装置，提供前述交流信号的。另外例如，其特征在于，前述基板是用于液晶显示面板的基板，前述导电图形是ITO膜。或者，前述基板是用于液晶显示面板的基板，前述导电图形是铝膜。另外例如，其特征在于，前述液晶显示面板用基板是玻璃基板或塑料基板。另外，具有与基板表面配设的导电图形的输送方向的前方端部距有一定距离、在至少有2处的预定位置、与基板表面配设的导电图形以非接触方式进行电容耦合的图形端部检测装置，同时，还具有向前述导电图形提供交流信号的信号提供装置，可检测与前述基板输送方向大致垂直的方向的位置偏差的基板位置偏差检测装置的基板位置偏差检测方法。用前述图形端部检测装置，经前述导电图形，对被提供给输送过来的前述基板的前述导电图形的前述交流信号进行检测；通过前述图形端部检测装置，检测出前述交流信号的检测时间偏差，用检测被输送过来的检查基板的位置偏差的检测方法，对基板位置偏差进行检测。另外例如，本专利技术还具有以下特征，前述位置偏差的检测，是将各前述图形端部检测装置检测的最小检测电平和最大检测电平之间的中间电平检测时的前述检测基板的位置，作为前述输送方向前方端部的前述位置偏差检测装置的到达位置，从前述各位置偏差检测装置检测的信号差，检测出相对于前述各位置偏差检测装置配置位置的倾斜程度和相对于输送方向的位置偏差。附图说明图1是本专利技术的一个实施例的基板位置偏差检测装置的检测原理说明图。图2是对本实施例的基板位置偏差检测装置的基板位置偏差检测控制进行说明的流程图。图3是通过本实施例的位置偏差传感器2对基板位置偏差检测原理进行说明的图。具体实施例方式下面，参照各图对本专利技术的一个实施例进行详细说明。以下，将对作为检查图形的、形成液晶显示面板的点矩阵显示用面板在组装前的点矩阵图形是否良好进行检查的电路图检查装置作为例子进行说明。但是，本专利技术不局限于下面说明的例子。只要是在一方端部，在端部图形不同的图形群的位置，可放置分别被公共电容耦合的通用传感器的图形均可。图1是本专利技术的一个实施例的基板位置偏差检测装置的检测原理说明图。本实施例的基板位置偏差检测装置，是将检测基板放在XYZ三维工作台30上，通过控制XYZ三维工作台30，进行三维移动，将基板控制在任意位置，在基板位置偏差检测时，对在与放置在按箭头A方向输送的XYZ三维工作台30上的、表面配设有导电图形的基板20的输送方向大致垂直的方向上的位置偏差进行检测的装置。在基板20的表面配设有规定的导电图形25。在本实施例中，基板20是液晶显示面板用基板，具体的基板材料为玻璃，在玻璃制基板(玻璃基板)表面配设有导电图形。但是，本实施例不局限于玻璃基板，只要能具有相同功能，也可以使用其它材质的基板。例如，由塑料制的基板，也能达到与玻璃制的基板相同的功能，并能减少破损的可能性。因而，用塑料基板代替玻璃基板不需要改变下述的控制，可以进行完全相同的检查。另外，基板20表面配设的用于检测的导电图形，不要与基板移动方向平行，而是配设成垂直方向。XYZ三维工作台30不仅可沿箭头A方向移动，也可沿与A方向垂直的方向移动。通过改变后述的定位传感器的配置，和改变XYZ三维工作台30的移动方向，也可检测与箭头A方向垂直的方向的位置偏差。在本实施例中，通过改变后述的传感器的配置，只要导电图形不与基板移动方向平行，任意方向的图形，都可检测出基板的位置偏差。下面，对导电图形为ITO薄膜的例子进行说明。在本实施例的基板位置偏差检测装置中，将距有一定距离、在至少有2处的预定位置、与基板表面配设的导电图形以非接触方式进行电容耦合的、作为图形端部检测装置的定位传感器1、2，和从导电图形25的输送方向后方的其它部位，向导电图形25的输送方向前方端部25a提供交流信号的、作为信号提供装置的供电部3，定位在无图示的传感器面板的同一平面内，并进行固定。定位传感器1、2是具有相同面积的导电平板，供电部3也是导电平板。因此，向供电部3提供某一频率的高频交流信号(脉冲信号)，通过与基板20表面的导电图形25之间的适当的间隔，虽非接触，但处于电容耦合状态，交流信号可通过供电部3提供给基板20的导电图形25。因此，供电部3与内藏有以规定频率振动的振动电路的信号发生器4连接，将振动电路振动产生的规定频率的交流信号提供给供电部3。然后，在定位传感器1、2处于导电图形25的配设位置的情况下，从供电部3通过导电图形25到定位传感器1、2形成电路，供电部3提供的交流信号通过定位传感器1、2被送到放大器电路12。这样，控制部11读取经A/D转换电路13转换的放大器电路12本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板位置偏差检测装置，其特征在于，可检测与表面配设有导电图形的基板的输送方向大致垂直的方向上的位置偏差的基板位置偏差检测装置，该装置具有下述装置：与所述配设在基板表面的导电图形的输送方向的前方端部距有一定距离、在至少有２处的预定位置、与基板表面配设的导电图形以非接触方式进行电容耦合的图形端部检测装置，从所述导电图形的其他部位，向所述输送方向的前方端部提供交流信号的信号提供装置，通过各所述图形端部检测装置，检测出所述信号提供装置提供的交流信号的检测时间偏差，从而检测出被输送的检查基板的位置偏差的位置偏差检测装置，所述信号提供装置，在所述检查基板至少是所述输送方向前方端部到达所述图形端部检测装置的位置时，提供所述交流信号，所述位置偏差检测装置是将检测信号的相差比例作为所述检查基板的倾斜比例。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山冈秀嗣，石冈圣悟，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]