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本发明公开了一种用于切割低介电值材料晶圆的快速切换光路架构，包含有用于产出激光束的激光束产生装置，位于激光束产生装置之后用于将激光束进行分光或不分光的分光装置，位于分光装置之后由多个光束控制匣所组成并用于调整激光束光路的光束转换装置，以及与...
该专利属于雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年所有，仅供学习研究参考，未经过雷科股份有限公司;黄萌义;熊学毅;苏柏年授权不得商用。

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