下载带电电位的评价方法及评价装置的技术资料

文档序号:2635511

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本发明提供根据离子发生器所中和的对象被测定物的表面电荷来推测该被测定物上产生的电位差Vh的带电电位的评价方法及评价装置,其使用以下式1将CPM(3)的电位差V↓[C]的测定值换算成HGA的导电图案及载梁间的电位差Vh。[式1]Vh=(dh/...
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