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带电电位的评价方法及评价装置制造方法及图纸
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文档序号:2635511
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本发明提供根据离子发生器所中和的对象被测定物的表面电荷来推测该被测定物上产生的电位差Vh的带电电位的评价方法及评价装置,其使用以下式1将CPM(3)的电位差V↓[C]的测定值换算成HGA的导电图案及载梁间的电位差Vh。[式1]Vh=(dh/...
该专利属于阿尔卑斯电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿尔卑斯电气株式会社授权不得商用。
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