带电电位的评价方法及评价装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供根据离子发生器所中和的对象被测定物的表面电荷来推测该被测定物上产生的电位差Ｖｈ的带电电位的评价方法及评价装置，其使用以下式１将ＣＰＭ（３）的电位差Ｖ↓［Ｃ］的测定值换算成ＨＧＡ的导电图案及载梁间的电位差Ｖｈ。［式１］Ｖｈ＝（ｄｈ／εｈ）.（εｃ／ｄｃ）Ｖｃ这里，ｄ↓［ｈ］表示所述ＨＧＡ的导电图案及载梁间的距离，ｄ↓［ｃ］表示ＣＰＭ（３）的导电板和所述接地面之间的距离，ε↓［ｈ］表示所述ＨＧＡ的绝缘衬底层的介电常数，ε↓［ｃ］表示ＣＰＭ（３）的导电板和接地面之间的介电常数。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对具有夹着电介质地对向的第1导电体及第2导电体的被测定物的因带电电荷产生的带电电位的评价方法及评价装置。
技术介绍
为了减少组装产品工序中的静电不良，而使用消除电装置。在消除电装置上例如具有离子发生器(ionizer)。它是利用电晕放电、紫外线、放射线等使大气中的水分或二氧化碳等离子化，再通过使用风扇等将这些离子吹到消除电的位置上而对电荷进行中和的装置。在由离子发生器产生的全部离子中，有必要尽可能使得正离子和负离子以相同量存在。一般的离子发生器的离子平衡的评价是使用图1所示的电荷板探测器(CPM)3进行的。电荷板探测器(CPM)3是如下的装置，支撑台5的上表面为电接地的接地面6，在与接地面6相距特定距离的位置上，设有金属板4，用非接触式的电位差计7测定金属板4和接地面6之间的电位差。金属板4的形状为边长6英寸的正方形。金属板4和接地面6之间的距离被规定为使得金属板4和接地面6成为以空气为电介质的容量20pF的电容器。具体来说，金属板4和接地面6之间的距离大约为2cm。当使电荷板探测器(CPM)3的金属板4带电时，就会检测出与金属板4的带电量对应的电位差。下面将对一般本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带电电位的评价方法，其特征是，具有如下步骤：　　　　（ａ）获得具有夹隔电介质而对向的第１导电体及第２导电体的被测定物的所述电介质的介电常数的值及所述一对电介质之间的距离的步骤、　　　　（ｂ）在特定的气氛下，测定与接地面相隔特定距离而相对的导电板的电位Ｖ↓［Ｃ］的步骤、　　　　（ｃ）使用以下的式１，对所述气氛下的所述被测定物的所述第１电介质及第２电介质间的电位差Ｖｈ进行换算的步骤，　　　　［式１］　　　　Ｖ↓［ｈ］＝ｄ↓［ｈ］／ε↓［ｈ］.ε↓［ｃ］／ｄ↓［ｃ］Ｖ↓［ｃ］　　　　其中，ｄ↓［ｈ］为被测定物的所述第１导电体及第２导电体间的距离，ｄ↓［ｃ］为所述导电板和所述接地面之间的距离，ε↓...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：川田贞夫，
申请(专利权)人：阿尔卑斯电气株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]