下载一种低阻抗的柔性PDMS基聚合物植入式神经电极及其制备方法的技术资料

文档序号:26353550

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本发明公开了一种低阻抗的柔性PDMS基聚合物植入式神经电极及其制备方法,属于神经生物材料技术领域。本发明为了解决现有入式神经电极易出现机械匹配度差、硬度过大、电阻较高等问题。本申请利用碱液对硅片进行湿法刻蚀,使硅片表面产生金字塔微结构,通过...
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