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在铜大马士革技术中用于估计凹陷和侵蚀效应的测试结构制造技术
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下载在铜大马士革技术中用于估计凹陷和侵蚀效应的测试结构的技术资料
文档序号:2635336
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一种测试结构将用于侵蚀评价的第一结构(1010)与用于提取缺陷尺寸分布的第二结构(1000)结合起来。第一结构(1010)为可用于测定随金属高度而变化的电阻值的环结构。第二结构为NEST结构(1000)。环结构(1010)的环形线被连接到N...
该专利属于PDF技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过PDF技术公司授权不得商用。
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