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检查装置和检查方法制造方法及图纸
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文档序号:2635276
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一种检查装置,其特征为,它具有: 大小至少是电路基板的检查对象导电图形的配置间距宽度以下的检查信号供给端子; 使所述检查信号供给端子横切检查对象导电图形的检查位置而顺序地扫描的扫描装置; 大小至少是所述检查对象导电图形的配...
该专利属于OHT株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过OHT株式会社授权不得商用。
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