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接合体和弹性波元件制造技术
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文档序号:26348981
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提高由多晶陶瓷材料或单晶材料形成的支撑基板与压电性单晶基板的接合强度,并且提高Q值。接合体(5、5A)具备:支撑基板(1)、压电性单晶基板(4、4A)、以及设置在支撑基板(1)与压电性单晶基板(4、4A)之间的接合层(2A)。接合层(2A)...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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