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用于低维材料的电触点制造技术
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下载用于低维材料的电触点的技术资料
文档序号:26348830
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本发明涉及用于将电触点连接至由基板承载的纳米材料的方法。在纳米材料上提供至少一层的可溶性光刻抗蚀剂(104)。至少一层的抗蚀剂中的开口(106)露出纳米材料的表面部分(108)。去除(S104)纳米材料的露出的表面部分(108)的至少一部分...
该专利属于格拉芬斯科公司所有,仅供学习研究参考,未经过格拉芬斯科公司授权不得商用。
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